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潔淨室內水、氣、電係統氣體管道的安裝要求
一、管道敷設應符合設計要求，設計無要求時，輸送幹燥氣體的管道宜水平安裝；輸送潮濕氣體的管道應安裝成有不小於0.003的坡度，坡度應坡向冷凝水收集器；
二、管道的連接采用焊接，並采用鎢*氬弧焊打底，手工電弧焊蓋麵工藝。不鏽鋼管焊接或點固焊均應采取管內充氬保護措施；
三、氣體管道與設備、閥門及其他附件應采用法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須采用聚四氟乙烯薄膜；
四、通過潔淨室的氣體管道，其法蘭墊片或螺紋填料的外露部分，必須清理幹淨；
五、氣體管道采用噴砂除鏽或酸洗鈍化的無縫鋼管時必須采用集中安裝方式，並在48h內分段組合安裝，充入壓力不小於0.2MPa的氮氣保護；
六、有接地要求的氣體管道，法蘭間必須焊有導電跨線，其導線截麵及焊接搭接長度應符合設計要求，焊點必須牢固、可靠。
